真空チャンバー
製作実績
チャンバー・加工品
真空シール部
真空装置内部
チャンバーの機械加工
チャンバーの機械加工
筺体内での真空シール部溶接
特長
- 社内設計および調達
- TIG溶接での厚板溶接が可能
- 製造完了後にHeリーク試験実施可能
材質
- 一般構造用鋼材（SS材）・溶接用鋼材（SM材）
- ステンレス材（SUS304、SUS316）
- アルミ（A5000系、A6000系ほか）
- チタン（1種・2種）
表面処理および検査
ロウ付け
- 銀ロウ付け
- 真空ロウ付け
気密性検査
- リーク検査
- X線探傷検査
- 浸透探傷検査
表面処理・仕上げ
- グラインダー処理
- バフ研磨
- 電解研磨、複合電解研磨
- GBB処理
熱処理
- 真空熱処理
- ベーキングによる脱ガス処理およびアウトガス測定
製作実績
- 最小板厚:1mm
- 最大板厚:40mm（一部100mm程度の試作機製造あり）
- 半導体・FPDなど真空プロセス用チャンバー多数