装置設計・製造
ミラプロが提供する装置
装置設計・製造受託
ミラプロでは、真空プロセスを活用した半導体・液晶・有機EL・太陽光発電関連の大型成膜装置の受託設計・製造をはじめ、微細部品の製造工程の自動化など、幅広い装置需要に対して、設計から製造、そして現地据付までの工程を実施できます。
設計・解析
- 数値解析（有限要素解析:ANSYS®・SolidWorks®）
- 力学的解析（線形・非線形）
- 温度分布・熱応力解析
- 流体解析
- 設計
- メカ設計/部品設計
- 電気関連設計
- ソフトウェア設計
- 現地施工配管類の設計
社内設備
受託実績
- ステンレス真空チャンバー
- ロードロックチャンバー
- トランスファーリングチャンバー
- ロードロック機構部
- ガラスサブストレート搬送機構部
- 高温チャンバー水冷機構
- 画像認識処理
- フィルム搬送機構
- インデックス装置
- ゲートバルブ
- ガスパネル
- インクジェット機構
- 太陽光発電パネル生産ライン
- テストプロセス用チャンバーおよび制御機構
- LED製造チャンバー
- 焼成チャンバー
- RF電源・DC電源
- 現地配管工事