ロール・ツー・ロール搬送システム
フィルム搬送機構部・製作実績
フィルム搬送駆動部
フィルム搬送
成膜ローラー部
弊社内テスト装置概要
| 項目 | 数値 |
|---|---|
| 到達真空度 | 10-3 Pa |
| 大気開放時間 | 10 min |
| 最大放電力 | DC 15kW×2 |
| TS間距離 | 50mm～100mm |
| 最大ヒーター温度 | 400 °C |
| ヒーター W.D. | 25mm～50mm |
| 搬送速度 | 0.01～12 m/min |
| 最大ガス流量 | 500 sccm ×2系統 |
| 成膜圧力 | 0.1～2.6 Pa |
sccm:standard cc/min
フィルム搬送駆動部
フィルム搬送
成膜ローラー部
| 項目 | 数値 |
|---|---|
| 到達真空度 | 10-3 Pa |
| 大気開放時間 | 10 min |
| 最大放電力 | DC 15kW×2 |
| TS間距離 | 50mm～100mm |
| 最大ヒーター温度 | 400 °C |
| ヒーター W.D. | 25mm～50mm |
| 搬送速度 | 0.01～12 m/min |
| 最大ガス流量 | 500 sccm ×2系統 |
| 成膜圧力 | 0.1～2.6 Pa |
sccm:standard cc/min