English

会社情報

製品紹介

装置設計・製造

技術・開発

品質・環境

採用情報

ホーム - 装置設計・製造 - ロール・ツー・ロール搬送システム

ロール・ツー・ロール搬送システム

フィルム搬送機構部・製作実績

フィルム搬送駆動部

フィルム搬送駆動部

フィルム搬送

フィルム搬送

成膜ローラー部

成膜ローラー部

弊社内テスト装置概要

ロールツーロールテスト装置
概要
項目 数値
到達真空度 10-3 Pa
大気開放時間 10 min
最大放電力 DC 15kW×2
TS間距離 50mm~100mm
最大ヒーター温度 400 °C
ヒーター W.D. 25mm~50mm
搬送速度 0.01~12 m/min
最大ガス流量 500 sccm ×2系統
成膜圧力 0.1~2.6 Pa

sccm:standard cc/min