ミラプロ

高精度チラー

チラーは冷却水循環装置と訳されますが、半導体製造や検査装置では高温環境での製造・検査もあり、温度制御の幅は年々広くなってきています。
半導体製造のプロセス温度は製品開発時に決定され、その温度を安定的に提供する必要があります。
また、複数のプロセス温度を素早く切り替えられる機能は生産性に直結します。
ミラプロのチラーはこのコンフリクトを解決しつつ、無駄のない設計によって小さなフットプリントを実現。そして製品性能の高さは世界でもトップクラスのご評価いただいています。
ミラプロは、国内外の大手半導体製造メーカーの技術を可能とさせる世界屈指のチラーメーカーでもあります。

ミラプロ 技術紹介 チラー

市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため様々なタイプのチラーをご用意しております。
世界各国の大手半導体製造装置メーカーへもチラーを出荷し、製造・保守も請け負っています。

半導体業界を中心に活躍するミラプロ製チラー

ミラプロのチラーは市場やお客様のあらゆるニーズにお応えするため、極低温(-70℃)から極高温度(+145℃)まで幅広い温度制御が可能で、かつ低温、高温切替え機能を搭載したハイスペックチラーをご用意しております。さらに、半導体製造のビルドインタイプ、世界最小クラスのコンパクトサイズのコンパクトチラーは、アメリカの半導体市場に約1000 台の稼働実績があり、多くのお客様にご支持いただいております。

ミラプロ 技術紹介 チラー

ご提供可能なサイズリスト ミラプロ 製品 チラー カタログ 商品ラインナップ

お問い合わせ ミラプロ 製品 成型ベローズ お問い合わせ

開発実績 温度切り替えの安定性と短時間化
低フットプリント
温度制御の高精度対応
省エネ対応(冷凍機からの排熱エネルギーを利用)
環境に優しい(F ガス規制対応)
主な提供分野 成膜やエッチングといった半導体製造装置メーカー
医療機器メーカー

ミラプロ MPC

ミラプロ MPC