유니트 사업
제조장비는 수 천 점에서 수 만 점에 이르는 부품으로 이루어져 있습니다. 설계 단계에선 부품을 조합하여 확실하게 작동시키는 조정기술이 결과를 좌우합니다. 또한 장비 제조에선 조립 정밀도를 확보하여 최대한의 장치 성능의 발휘가 요구됩니다. 미라프로에선 장비 설계에서 제조까지의 일관 생산으로 유저의 니즈에 대응하고 있습니다.
미라프로에선 진공 부품 단독이 아닌, 납품처인 장비 메이커와의 연계에 의한 ODM（Original Design Manufacturing：위탁처에 의한 장비설계, 제조）도 사업으로서 전개하고 있습니다.
시장동향의 변화가 심한 장비개발분야에서는 엔드 유저 제공까지의 기간이 짧은 이유로, 장비 메이커가 기술 매너지먼트를 담당하고, 전문 기술영역은 서플라이어측이 담당하는 것으로 더 신속히, 확실히 실현됩니다. 미라프로는 장비 구조설계, 전기설계, 소프트웨어 설계와 관련된 기술력을 보유하고 있으므로, 이들을 융합시킨 장비를 제공하고 있습니다.
주요실적
진공프로세스관련장비（반도체/액정）
로드록 챔버, 트랜스퍼링 챔버, 잉크젯 구조, 테스트 프로세스용 챔버
제어 구조, 화상인식 처리, 게이트 밸브, 고온 챔버, 수냉구조
진공 프로세스 관련 장비의 열효율, 열효율 향상
진공 단열 이중
진공프로세스 장비관련（반송계）
글래스 섭스트랙트 반송구조, 필름반송구조
부품반송・반송제어
인덱스장비
진공프로세스장비관련
LED 제조챔버, 열처리챔버
진공프로세스（가스계）
가스판넬
프로세스용전원
프로세스용 전원
현지배관공사
진공배관계
과학기술분야관련・설계
핵융합연구관련안테나/포트 KAGRA
칠러의 설계・제조
칠러는 냉각수 순환장비로 알려져 있으나 반도체 제조나 검사장비에서는 고온 환경에서의 제조・검사에 있어서, 온도제어의 폭이 점점 넓어지고 있습니다. 미라프로 칠러의 특징은 온도 제어 오차의 최소화, 신속한 공급 온도 전환, 풋프린트（점유면적）의 최소화 등을 들 수 있습니다. 반도체 제조의 프로세스 온도는 제품 개발시에 결정되어, 결정된 온도를 일정하게 관리할 필요가 있습니다. 또한, 복수의 프로세스 온도를 빠르게 전환할 수 있는 기능은 생산성에도 직결합니다. 미라프로의 칠러는 이러한 대립을 해결하면서도 낭비없는 설계에 의한 컴팩트한 풋 프린트를 실현한 점으로 평가받고 있습니다.
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기술소개
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