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真空配管

真空プロセスによる半導体などの製造工程では、プロセスの実現に必要となる高純度ガス供給ラインや高度な真空環境を作りだす真空排気配管が必要です。

真空配管の多くはステンレス配管ですが、工場レイアウトや製造装置のコンパクト化の要望から最適なガスフローラインを実現する配管技術が求められています。

ミラプロでは、真空規格品の販売に加え、成形ベローズや溶接ベローズを含む真空配管も製造しています。また、クランプによるパイプ接合を低減した分岐管や長尺配管、大小口径の接合などのさまざまなご要望に対して、社内での機械加工や溶接工程により、迅速な製造・納入体制を構築しています。

実績

真空配管

品質

溶接

材質

生産能力

表面処理

※各種、ご要望に応じた表面処理を行います。

MiSUMi-VONAでの販売

弊社の真空配管部品は、ミラプロ真空配管部品@MiSUMi-VONAでも販売しています。

MiSUMi-VONA WEB Site

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