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製品（真空部品）

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真空配管部品

高純度ガス配管

高純度ガス配管専用の製造・検査ライン

ガスパネルの設計・製造受託可

ガスパネルの設計・製造受託可

クリーン度と照度を確保した専用工程

クリーン度と照度を確保した専用工程

ガス純度を確実にする溶接条件

ガス純度を確実にする溶接条件

特長

真空プロセスへの一次系配管の製造が可能
クリーンルーム内での製造（全工程）
クリーン度:FED規格:クラス 1000（一部 100）
材質:SUS304、SUS316、SUS316L
表面処理:EP仕様
サイズ :1/4”, 3/8”, 1/2”